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ノヴァ(NVMI)

ノヴァ(Nova Ltd)(旧名:Nova Measuring Instruments Ltd)は、イスラエルを拠点とする企業であり、半導体製造業界に計測ソリューションを提供する。

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【事業内容】

インライン光学とX線スタンドアロン計測システム、およびウェーハ製造プロセス機器に直接接続される統合光学計測システムを提供する。その計測システムは、半導体ウェーハ製造プロセスのさまざまなフロントエンドとバックエンドのラインステップ中に、さまざまな膜厚と組成特性、および限界寸法(CD)変数を測定する。製品ポートフォリオには、複数の半導体製造プロセスステップにわたるプロセス制御のための寸法、フィルム、および材料計測測定に適した、その場で統合されたスタンドアロンの計測プラットフォームが含まれる。製品には、NovaScan 2040、NovaScan 3090Next、Nova i500、Nova T500、Nova T600、Nova V2600 TSV計測システムなどがある。

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