イコル ホールディングス(ICHR)

イコル・ホールディングス(Ichor Holdings, Ltd.)は半導体資本設備用の臨界流体配送サブシステムの設計・エンジニアリング・製造に従事する。

【事業内容】

同社は半導体デバイスの製造に応用されるプロセスツールの主要部品である流体配送サブシステムとして知られたガスと化学物質配送サブシステムを提供する。ガス配送サブシステムはエッチングおよび堆積等の半導体製造プロセスに応用される専門ガスの配送及び量の監視・制御を行う。化学物質配送サブシステムは化学機械研磨(CMP)電気メッキとクリーニング等の半導体製造プロセスに応用される反応性液体化学物質の混合・分配を行う。同社はまた、流体輸送システムにおける内部使用および顧客への直接販売のための特定コンポーネントを製造する。

半導体製造装置メーカー

アイコア（ティッカーシンボル：ICHR）は、半導体製造の前工程において、物理気相成長法（PVD）や化学気相成長法（CVD）などにより半導体のウェハー（薄い円形の板）を鏡のようにピカピカに磨き上げる過程で、液体や気体の化学物質をむらなく届ける装置を作っている。これらの工程は激しい反応を引き起こすプロセスのため、密閉されたチェンバーの中で行われる必要があり、周囲の機器と高い統合性を持つ必要がある。